「SODはいらない」、AMATが実現した第4CVD技術「FCVD」

「今回の『FCVD（Flowable CVD）』は、1987年以来20年以上続くCVD技術の歴史において、第4のCVD技術である。この技術を実現したことでSOD（spin on dielectric）を不要にできる」。米Applied M…

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